| 参数 | 避坑建议 | 推荐配置 |
|---|---|---|
| 流量 | 检查流量稳定性,确认是否带自动补偿 | 根据洁净室等级匹配,高等级选大流量 |
| 粒径 | 确认最小粒径是否满足未来工艺升级 | 半导体选0.1μm,制药选0.3μm起 |
| 计数效率 | 必须要求提供第三方校准报告 | 严格遵循ISO 21501-4标准 |